更新时间:2026-06-26
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激光尘埃粒子计数器是洁净车间环境监测的核心设备,通过激光散射原理精确测量空气中不同粒径的尘埃粒子数量,用于评定洁净区的悬浮粒子洁净度等级。以下为十万级洁净区使用该设备的标准化流程与要求。

一、测试前准备
设备预热与自净:将仪器置于待测环境,开机后预热至稳定状态(通常需10分钟以上)。使用专用自净口导管连接采样口进行自净清零操作,确保传感器内无残留粒子干扰,待计数稳定后方可开始测试。
环境条件确认:测试前需确认洁净区的温湿度、静压差符合规定要求,且洁净区已完成消毒。通常温度控制在18-26℃,相对湿度45%-65%,且需在净化空调系统正常运行不少于30分钟后开始测试。
二、采样点布置
测点数量:根据洁净区面积确定最少采样点。对于十万级洁净区,面积小于10m²至少布置2个测点,10-20m²至少4个,20-40m²至少8个。
测点位置:采样点应均匀分布于洁净区内,避免过于集中或稀疏。采样口高度应为距地面0.8-1.5m(通常取1.0-1.2m),略高于工作面高度。关键设备或关键工作活动区域可增加额外测点。
三、参数设定与采样
采样参数设置:根据洁净等级设定采样量。十万级洁净区采集≥0.5μm粒子时,单次采样量应大于2.83L;采集≥5μm粒子时,采样量应大于8.5L。设置测量周期(通常为1-3分钟)、粒径通道(≥0.5μm和≥5.0μm)等参数。
采样操作:每个采样点需连续采样3次,取平均值作为该点结果。采样时确认计数稳定后方可读数,采样管长度不得超过1.5m以防止大颗粒沉降损失。
四、安全操作要点
当入口管被堵塞时,禁止启动计数器。
禁止在洁净环境外使用仪器,以防损伤激光传感器。
严禁使水、溶液或其它液体进入采样口。
不得测试氢气、氧气等可能产生爆炸反应的气体。
无高压扩散器时不得取样压缩空气。
测试时避免采样口接触松散颗粒、灰尘源或喷雾处,至少保持12英寸距离。
五、十万级洁净度判定标准
十万级洁净区悬浮粒子合格标准为:≥0.5μm粒子≤3,500,000个/m³,≥5μm粒子≤20,000个/m³。当所有采样点平均值低于要求值,且该洁净室全部检测点平均值的95%置信上限(UCL值)也低于要求值时,判定为合格。
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