无尘室悬浮粒子空气采集器高压扩散器用于高压压缩空气采样前的气体扩散稳压，将高压高速气流转化为层流常压气体，适配尘埃粒子计数器采样。有效消除气流湍流、避免粒子破碎与计数失真，扩散均匀，无积尘，不易产生二次污染。结构小巧，安装于压缩空气采样点位，拆装方便，便于清洁擦拭，广泛应用半导体、面板无尘室压缩空气管路悬浮粒子检测，稳定采样，保障无尘室空气洁净度检测数据准确可靠。

在无尘室压缩空气检测中，无尘室悬浮粒子空气采集器高压扩散器是连接高压气源与常压悬浮粒子计数器的关键前端装置，其核心功能是安全降压并维持稳定流量，使计数器能够准确评估压缩空气的洁净度等级。

一、产品规格

1、匹配仪器：2.83L/min 尘埃粒子计数器、28.3L/min 尘埃粒子计数器、50L/min 浮游菌采样设备、100L/min 浮游菌采样设备

2、可测粒径：≥0.3um

3、允许输入气压：0.1-1.0 MPa（30-150 psi）

4、可用气体介质：氮气、氩气、氦气

5、壳体材料：SUS 304

6、运转噪音：小于 60 分贝

二、测试功能

高压扩散器首要解决的是压力适配问题。粒子计数器传感器设计在常压环境下工作，无法直接承受高达8 bar以上的压缩气体，扩散器通过内部限流结构将高压气体降至接近大气压，同时保持气流稳定。其次为流量匹配与冗余排放。针对28.3 L/min的计数器，扩散器前端通常维持约40 L/min的流量，略高于计数器采样量，确保计数器吸入正压气体而非倒吸环境空气，多余气体经高效过滤器过滤后排出。部分型号还具备等动力采样设计，以减少大颗粒在采样入口处的惯性损失，提升测量准确性。此外，扩散器内置排气过滤器，在气源断开时可防止外部污染物倒灌损坏装置。

三、操作方法

操作前先完成气路连接：将压缩空气取样口经吹扫排气数分钟后，接至扩散器进气口，扩散器出气口用软管连接粒子计数器采样口。开启气源，缓慢旋动调压阀，观察流量计示值，使其稳定在略高于计数器额定采样流量的位置（28.3 L/min机型对应约40 L/min），用手感知多余气体排出口应为正压，确认气流方向正确。启动计数器采样后，必须舍弃第一个采样周期的数据，从第二周期起记录有效读数，以排除管路残留或压力波动的影响。每个检测点通常连续采样三次，取相近稳定值的平均值作为该点结果。需注意，使用前应拔掉计数器接口上的胶塞以保证气路通畅，并确认扩散器与计数器的流量规格匹配。

四、应用行业

无尘室悬浮粒子空气采集器高压扩散器主要服务于对压缩空气洁净度有严格要求的领域。制药与医疗器械行业依据GMP及ISO 8573-1标准，需验证工艺用气中悬浮粒子水平，进入无菌区的压缩空气洁净度须等于或优于使用点环境级别。电子半导体制造中，压缩空气中的微粒可能造成晶圆缺陷，需用扩散器配合计数器定期点检气路洁净度，TSI等品牌扩散器明确支持SEMI E49.8标准的监测。食品饮料行业监测与产品直接接触的压缩空气，防范颗粒污染风险。此外，化妆品生产与医疗设备制造同样依赖此类装置进行压缩空气系统的洁净度验证与日常监控。