更新时间:2026-08-03
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在半导体芯片制造、液晶面板生产及精密电子组装等电子厂房中,空气中悬浮粒子的浓度直接决定产品良率与工艺稳定性。一颗0.3μm的微小颗粒,便可能导致芯片线路短路、面板像素缺陷或元器件性能失效。依据GB 50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》及ISO 14644-1等标准,电子工业洁净厂房的洁净度检测需覆盖从ISO 5级(百级)光刻区到ISO 8级(十万级)仓储区的多层级管控需求。为帮助电子企业实现高效、精准的洁净度监测,全新一代28.3L激光尘埃粒子计数器正式上市。该仪器基于激光散射检测原理,以28.3L/min(1cfm)大流量采样为核心优势,一次采样可同步获取多档粒径通道的粒子数据,并依据ISO 14644-1及GMP标准自动判定洁净等级,为电子厂房洁净环境管控提供高效可靠的数据支撑。

直击痛点:大流量采样,效率与准确性双重跃升
传统小流量(2.83L/min)计数器采样效率低——以百级洁净室为例,需连续采样较长时间才能获得足够有意义的粒子计数;而28.3L/min大流量仪器在相同时间内采样体积扩大十倍,收集粒子数量更多,统计结果更可靠。大流量采样有助于捕捉瞬时、局部的污染事件,提升监测灵敏度,尤其适用于电子厂房高等级洁净室中极低粒子浓度的监测场景。
核心技术优势
28.3L/min大流量采样,高效捕捉污染事件。采样流量为传统2.83L/min机型的十倍,大幅缩短洁净室检测周期。半导体激光光源寿命长达30,000~40,000小时以上,性能稳定可靠。一次采样即可同步获取0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10μm等多档粒径通道的粒子数据,检测范围覆盖百级至三十万级(ISO 5~ISO 9)洁净环境。
智能合规,自动判定洁净等级。内置ISO 14644-1、新版GMP(含静态/动态)、FS-209E等多重洁净度判定标准,按95%置信度(UCL)自动计算并判定净化级别。支持2~9个采样点和每点2~9次采样设定,检测报告即测即出。
坚固便携,符合电子厂房工况。整机采用SUS304不锈钢外壳,符合洁净室设备“易于清洁、不积尘、耐腐蚀"的要求。交直流两用,内置锂电池续航4~12小时,方便电子厂房多点巡检。标配等动力采样头与自净过滤器,有效避免采样管路污染对检测结果的干扰。
适用场景
该仪器广泛适用于半导体光刻车间、晶圆封装测试区、液晶面板生产线、精密电子组装车间等电子厂房洁净环境的日常监测与洁净度分级验证,是电子企业贯彻洁净室管理规范的理想工具。
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