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电子式智能半导体拉力机
产品简介

电子式智能半导体拉力机用于半导体封装(如芯片键合、焊球阵列)及微电子组件的精确力学测试。该设备采用高精度传感器与智能控制软件,可自动完成拉伸、剪切、剥离等多种试验模式。其核心技术指标包括:综合测试精度通常优于±0.25%,可配置多档量程传感器以适应从小力值键合线到高力值芯片的测试需求。设备通过高倍显微镜精确定位,依据MIL-STD-883、JEDEC等国际标准,计算出键合强度、剪切强度等参数。

产品型号:
更新时间:2026-08-05
厂商性质:生产厂家
访问量:12
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电子式智能半导体拉力机是一款专用于半导体封装与微电子组件力学性能检测的高精度设备。其核心功能涵盖金线/铝线键合拉力测试、芯片剪切力测试、BGA植球推力测试及焊点可靠性评估。设备通常由高精度传感器、电脑测控系统及高倍显微定位系统组成,力值精度可达±0.25%,广泛应用于集成电路封装、LED制造及汽车电子等行业的失效分析与质量控制。


运行原理

这台设备的运行原理,是基于 “等速加载" 与 “光-力同步测量" 的结合。

精密定位与加载:测试时,操作者通过高倍率显微系统(放大倍数通常至少15倍)精确定位测试点。随后,由伺服电机驱动的高精度X/Y/Z三轴运动平台,将专用工具(如钩针或推刀)移动至待测位置。设备以设定的恒定速度(如拉力测试常见的0.2~1 mm/s)施加拉伸或推力,直至样品失效。

高精度力值测量与闭环反馈:设备内置的高精度力值传感器(综合测试精度可达±0.25%)实时采集力值信号,并通过数字闭环控制系统(DGFT)动态调节加载过程,确保施加的力值精确可控。测试全程,系统会同步记录力-位移曲线,完整呈现从受力到失效的全过程。

智能数据处理:试验结束后,配套软件自动记录最大力值(峰值)、平均力值等关键数据。操作者通过显微镜观察失效位置(如引线中部断裂或焊点剥离),并将其与力值数据关联,录入软件的失效模式库中,用于系统性地分析失效原因。


检测流程

以最核心的引线拉力测试(Wire Pull Test) 为例,参考相关标准和规程,典型流程如下:

设备准备与试样固定:开机预热,并对力值传感器进行调零校准。将待测芯片或封装器件稳固地固定在载物台上。

显微定位与挂钩:在高清显微镜下,通过摇杆控制平台移动,将专用微型拉钩精确定位并钩住键合引线的指定部位(通常是线弧的中跨处)。从俯视角度看,拉钩应垂直于基板表面。

参数设定与启动测试:在软件中设定测试模式(拉力)、加载速度等参数。点击“开始",设备即自动执行测试,拉钩以设定速度垂直向上匀速运动,直至引线断裂。

数据记录与失效分析:系统自动记录并保存拉断力(峰值) 和力-位移曲线。操作者需在显微镜下观察并记录断裂位置,这对应不同的失效模式:

可接受模式:引线在弧中间处断裂。

需分析模式:断裂发生在球键合的颈部或鱼尾键合的颈部(表明键合工艺本身存在薄弱环节)。

严重失效模式:焊盘脱落或芯片破裂(表明键合界面或芯片本身存在严重问题)。


规格参数

1、整机自重参数:87kg、350kg、250kg、500kg、21.5kg

2、设备外观尺寸

机身垂直高度:173cm、185cm、81.5cm、200cm、122cm

机身横向宽度:52cm、30cm、76.5cm、76cm、80cm

机身纵深尺寸:49.5cm、45cm、40cm、50cm

3、设备额定功率:0.65Kw、0.11Kw、1.5Kw、0.75Kw、0.35Kw

4、供电电气规格:设备适配标准工频用电环境,采用220V交流电压供电,工作频率为50赫兹,适配常规实验室用电条件

5、设备工作环境参数:仪器适配的作业温度为常温至40℃,运行环境空气湿度需维持在20%~80%区间,可稳定开展各类检测工作

6、试验进给速度区间:设备测试构件运行速度可在0.01~500mm/min范围内无级调节,适配多种材料的力学性能检测需求

7、空载有效测试行程(不含配套检测夹具):800mm、1100mm、460mm、1000mm

8、力学测试量程:5KN、50KN、20KN、100KN、10KN、1KN

9、设备机型分类:双臂微机操控机型、桌上台式机型、单臂微机操控机型、单臂数字显示机型


应用领域

电子式智能半导体拉力机主要服务于对微连接可靠性有高要求的领域:

半导体封装:用于QFN、BGA、CSP等封装工艺中引线键合、金球焊点、芯片贴装的强度验证与工艺控制,是防止封装失效的关键设备。

LED与光通讯:用于检测LED芯片、光模块内部金线/铝线键合的焊接强度与寿命。

汽车与航天电子:用于评估IGBT功率模块、ECU控制单元等车规级、宇航级电子器件中关键连接点的可靠性。

失效分析与科研:作为可靠性分析机构、院校进行失效分析、材料研究和工艺开发的核心工具,依据JEDEC、MIL-STD等国际通用标准执行测试。


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